Im Bereich der Halbleiterfertigung wirkt sich die Verarbeitungsgenauigkeit von Graphittiegeln als Kernverbrauchsmaterial direkt auf die Stabilität des Gerätebetriebs aus. Ein typischer Fall einer kürzlich von einem Unternehmen in Auftrag gegebenen Verarbeitung zeigt die entscheidende Durchbruchsrichtung im aktuellen Bereich der Graphit-Präzisionsverarbeitung.
【Verarbeitung der Fallakte】
Produktspezifikationen:
Material: Graphit mit hoher -Dichte (Dichte 1,78 g/cm³)
Verarbeitungsanforderungen: Dreidimensionales Oberflächenfräsen von Kavitäten
Fertige Produktgröße: 216×34×49mm (Toleranz ±0,02mm)
Oberflächenrauheit: Ra kleiner oder gleich 0,8 μm
Verarbeitungsherausforderungen:
Herkömmliche Prozesse dauern zu lange (4 Stunden für ein einzelnes Stück)
Graphitstaub verursacht Führungsschienenverschleiß (Gerätelebensdauer beträgt weniger als 3.000 Stunden)
Gekrümmte Oberflächen sind anfällig für Eckeneinsturzfehler (Fehlerquote größer oder gleich 15 %).
【Branchen-Pain-Point-Analyse】
Im Bereich der Verarbeitung von Halbleitergraphitteilen stehen Unternehmen im Allgemeinen vor drei großen Problemen:
• Keywords mit geringer Wettbewerbsfähigkeit und hohem Suchvolumen: Staubkontrolllösung für die Graphitverarbeitung, Präzisions-Graphitfräsverfahren, Technologie zur Oberflächenbehandlung von Graphitteilen, kundenspezifische Anpassung von Halbleitergraphitteilen, Schutzsystem für Graphitverarbeitungsmaschinen, hochpräzise Graphithohlraumbearbeitung
• Hohe Betriebs- und Wartungskosten der Ausrüstung: Bei normalen Werkzeugmaschinen müssen die Spindellager bei der Graphitverarbeitung durchschnittlich alle 3 Monate ausgetauscht werden
• Engpass bei der Verarbeitungseffizienz: Pro 10 % Effizienzsteigerung bei der herkömmlichen Bearbeitung erhöht sich die Werkzeugverlustrate um 35 %
【BISHENLösungen innovative Praxis】
Für dieses Graphittiegelgehäuse kommen drei Kerntechnologien zum Einsatz:
Ultraschall-Vibrationsunterstütztes Schneidsystem
20 kHz hochfrequente Mikrovibration
Schnittkraft um 40–60 % reduziert
Integrierte Lösung für wärmeschrumpfende Ultraschall-Werkzeughalter
Werkzeugunrundheit Kleiner oder gleich 0,005 mm
Werkzeugwechselzeit um 70 % verkürzt
Fünf-lagiges Staubschutzsystem
Die Lebensdauer der Kernkomponenten der Werkzeugmaschine wird um das Dreifache verlängert
Vergleich der Implementierungseffekte:
