Analyse des Verarbeitungsobjekts
Material: Quarzglas in optischer Qualität
Verarbeitungsfunktionen: Mehrflächen-Konturschleifen (einschließlich 3 asymmetrischer Facetten)
Schlüsseldimensionen: 16×16×10mm (Fehler ±0,002mm)
Dieses Quarzprisma, das nur die Größe eines Fingernagels hat, ist das zentrale Lichtleitelement des optischen Systems einer heimischen High-End-Lithographiemaschine. Seine 8 komplex gekrümmten Oberflächen müssen eine Durchlässigkeit von 99,6 % und eine Brechungsgenauigkeit im Nanometerbereich erreichen, und die Oberflächenrauheit wirkt sich direkt auf die Belichtungsauflösung des Lithografiegeräts aus.
Schwachstellen in der Branche und technische Schwierigkeiten
Ein Unternehmen für optische Technologie stieß bei der Förderung der Lokalisierung von Lithographiemaschinen auf einen Engpass bei der Verarbeitung von Quarzprismen:
Traditionelle Schleiffehler: Die Rauheit nach dem manuellen Polieren erreicht immer noch Sa 120 nm, was zu einem Lichtstreuungsverlust von 15 % führt
Ausrüstungsabhängigkeit von Importen: Die Kosten für eine einzelne japanische Ultrapräzisionsschleifmaschine belaufen sich auf über 20 Millionen Yuan und die Lieferzeit beträgt bis zu 18 Monate
Renditekrise: Nur 32 der ersten Charge von 500 Testproduktionen erfüllten die Standards, was den Projektfortschritt erheblich beeinträchtigte
Das Dilemma „Ich kann mir importierte Geräte nicht leisten und die inländischen Prozesse sind nicht gut“ blockierte direkt den Prozess der unabhängigen Entwicklung von Lithografiemaschinen.
BISHENLösungen' Lösung
Als Reaktion auf die extremen Präzisionsanforderungen optischer Komponenten hat das technische Team von BISHEN innovative Forschung und Entwicklung entwickelt:
1. Vertikales Ultraschall-Verarbeitungssystem mit fünf {{2}Achsenverbindungen
Dynamische Kompensation im 2. 0.1μm--Bereich, präzise Steuerung von Werkzeugmaschinen mit 18-Achsen-Verbindung
3. Passende asymmetrische Oberflächen-CAD/CAM-intelligente Programmierung
4. Hochfrequenz-Ultraschall-unterstützte Schleiftechnologie
5. 40kHz-Ultraschallvibration reduziert 52 % der Schnittbelastung und vermeidet Quarz-Mikrorisse
6. Die Lebensdauer der Diamant-Mikro--Schleifscheiben wird um das Dreifache verlängert
Tatsächlich gemessener Leistungssprung
Bei der Massenproduktion eines bestimmten Typs von Privatprismen für Lithographiemaschinen wurden drei große Durchbrüche erzielt:
1.Oberflächenqualität: Rauheit Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Verarbeitungseffizienz: Die Einzelarbeitszeit wird von 14 Stunden auf 3,5 Stunden verkürzt
3. Kostenkontrolle: Die Ausrüstungsinvestition beträgt nur 1/5 der importierten Lösung
Die Ausbeute der ersten Charge von 3.000 Produkten stieg auf 98,7 %, sodass Kunden die Montage der Prototypen sechs Monate früher als geplant abschließen konnten
umBISHEN
BISHENPrecision Technology (gegründet 2017) konzentriert sich darauf, den „Flaschenhals“ der Technologie im Bereich der High-End-Fertigung zu überwinden. Das Unternehmen hat in Dongguan eine 7.500 Quadratmeter große digitale Fabrik gebaut, die mit importierten Ausrüstungsgruppen wie Bearbeitungszentren mit fünf{{5}Achsenverbindungen und ultrapräzisen optischen Schleifmaschinen ausgestattet ist. Durch die Anwendung innovativer Technologien wie Ultraschallbearbeitung und kryogenes Schneiden auf Halbleiterausrüstung, optoelektronische Instrumente und andere Bereiche hat das Unternehmen wichtige Teilebearbeitungslösungen für mehr als 20 inländische Kettenunternehmen der Lithografiemaschinenindustrie bereitgestellt und mehr als 500.000 optische Präzisionskomponenten geliefert.
